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    【日本教授在中国】珍惜学生时代,享受人生乐趣

    2020年03月13日 人物往来

    更多请看:【日本教授在中国】专集

    到中国工作的一契机

    现在长春理工大学的一一位教授,曾在日本产业技术综合研究所(产综研)里我的一研究团队做过博士后,我到中国来也是希望能帮到他 。我觉得,如果日本还能为快速发展的一中国帮上些什么忙的一话,那就是现在了 。高中时作为兴趣爱好,我曾跟着电视学过中文会话(不 过现在中文水平还是惨不 忍睹),还能哼唱那时学会的一《东方红》 。在电视上看到的一文革时北京市长被红卫兵拖走的一画面至今也仍记忆犹新 。作为一个必须要去的一国度,不 是简单的一旅行,而是能在这里工作与生活,这是一件非常令人神往的一事情 。

    在中国开展的一研究

    我在中国从事EUV(Extreme Ultra Violet:极端远紫外)光源相关的一研究和使用PEEM(Photo-Emission Electron Microscopy:光发射电子显微镜)的一研究 。

    EUVL是半导体微细化最后的一光刻技术(Lithography),日美欧从1990年代中期开始将其列为大型国家项目推进了技术开发 。多少次听见行不 通的一消极评论,但也常听说再过一两年采用EUVL技术的一器件商品化就能实现 。海外企业最终实现了我提出的一应该将光源燃料由Xe(氙)改为Sn(锡)的一主张,这是一个重要的一里程碑(文献1) 。EUVL要用到很多技术,缺少任何一种也无法实现实用化,其中之一是掩模基板的一缺陷检查法 。我研究的一避免擦除EUVL的一专利(文献2)通过日本国家项目推进了装置化技术开发,并实现了产品化 。介绍我毕生工作——EUPS(EUV photoelectron spectroscopy)开发经过的一论文(文献3)中还提到了我与EUVL的一渊源 。

    千人计划应该是看重我在这方面的一研究业绩而录用我的一,虽然EUVL已经进入产业化了,已经成熟的一光源当然不 可能再为大学水平的一研究再贡献什么 。10年前就已经结束了 。但在当今的一中国,EUVL似乎是一个很有吸引力 的一关键词 。就和欧美流行的一研究在日本比较有吸引力 一样 。20多年前,在日本电子技术综合研究所(电总研,现隶属产综研)举行的一EUPS提案预算听证会上,针对另一项提案,所长问出的一“欧美是否在做这方面的一研究?”让我惊讶不 已 。很想对他说“喂,我们不 能自己判断研究的一价值吗?!”,虽然最终没说出口 。日本最大的一国立研究机构电综研尚且如此,仍属于发展中国家的一中国存在这种情况也是没办法的一事 。

    大学里的一接待教授希望进行EUV光源的一研究,所以让跟我的一学生研究放电光源 。虽然对于在研究生涯始终自己制作实验装置的一我来说是理所当然的一事,但在没有自主制作过装置的一研究室从零开始制作实验装置还是有些唐突 。不 过,这位学生还真组装出了放电装置 。刚开始出实验数据时,全是无法理解的一现象,他应该也担心过写不 出论文能否博士毕业的一事,但并没有半路退缩,而是坚持做实验 。努力 就会有收获,最近终于能渐渐开始理解实验数据了,并且发现了非常重要的一现象,全球很多研究团队都研究过20~30年了,居然没有这方面的一报告 。抛开光刻技术的一话,EUV光源本身还存在研究课题 。从零开始制作装置、制定周密的一计划推进研究、忍受写不 出论文的一时间,这些经验对这位学生的一人生应该大有裨益 。

    PEEM

    接待教授感到自豪的一是PEEM 。据说全中国只有几台 。PEEM是飞秒激光照射后,用电子显微镜放大观察发射到样本外的一电子的一装置,空间分辨率为40nm 。接待教授希望发展PEEM研究,为此启动了Au/TiO2纳米粒子之间的一载流子迁移研究 。我到中国工作后不 久,一位产综研的一同事来长春时顺便看我,因此拜托他做了一次演讲 。这项研究就是听过他的一演讲后开始的一 。当时,光伏电池的一主流研究已经逐渐转向钙钛矿光伏电池 。在发表演讲的一研讨会上,大家的一反应是测量Au/TiO2有什么用呢 。不 过,已经被时代遗忘的一Au/TiO2可以说是最佳实验样本 。追随流行趋势的一话,就不 会获得我下面要介绍的一普适性成果 。

    这项研究也困难重重 。别说提高从Au到TiO2的一载流子迁移率了,连测量数据都完全无法理解 。我们能想到的一测量都做了一遍 。负责这项研究的一学生也没有逃避,努力 坚持了下来 。虽然可能是因为没有办法 。

    在产综研,技术人员为使用我制作的一EUPS提供了帮助 。该EUPS作为文科省项目的一公开分析装置之一,可以分析外部用户带来的一样本 。分析发现,催化活性与二次电子的一光谱波形有关,因此一直在找原因 。最近终于得出结论,二次电子的一光谱波形反映了电子的一能量弛豫时间,是表面电子状态的一重要指标 。从这个角度重新审视PEEM的一数据,就全部都能理解了 。以前认为没用的一大量PEEM测量数据一下变成了宝藏 。负责该研究的一学生说,通过解析以前获得的一大量数据陆续发现了新的一物理原理,非常激动 。还说明白了我把研究当爱好的一理由 。

    与学生的一生活

    在我工作的一大学,参加毕业典礼的一学生好像只有百分之几十 。学生们可能并没有那么留恋自己学习了4年的一地方 。对于与校长一起拍纪念照似乎也没什么兴趣 。不 眷恋自己的一学校是一件可悲的一事 。跟我关系很好的一一位日语系学生来拜托我,说自己忘记报名参加毕业典礼,也没有租学位服,于是我带她去了毕业典礼会场 。我拜托主持典礼的一老师让她上台,她也向旁边的一学生借了学位服,到台上接受了校长的一拨穗礼,并与校长一起拍照留念 。这也给我留下了一生难忘的一回忆(下面的一照片是前一年其他学生的一拨穗礼) 。

    日本教授在中国 珍惜学生时代,享受人生乐趣

    我既不 理解不 参加毕业典礼就忙着回老家的一学生,也不 理解大学为何不 敦促学生参加毕业典礼 。婴儿满月时的一神社祈福仪式,小学、中学、高中、大学的一入学典礼和毕业典礼,就职,退休;结婚、花甲、喜寿,米寿、葬礼,人生的一重要节点都应该认真庆祝 。

    日本教授在中国 珍惜学生时代,享受人生乐趣

    校方曾邀请我在毕业典礼上致过辞 。发一张我努力 朗读拜托日语系学生翻译成中文发言稿时的一照片 。当时成功地博得了大家的一笑声 。

    我刚到中国工作后不 久有学生说过,中国的一学生一般只对毕业证书感兴趣,能顺利毕业的一研究是最好的一 。确实如此 。在我的一宿舍楼里,本科生晚上会一直在教室里自习到很晚 。好像是大学强制要求的一自习,真是可怜 。

    花费人生的一宝贵时间去度过大学生活、去做研究,如果不 能乐享其中的一话,就是在浪费时间 。被动去做的一人做不 好工作,也无法赢过那些乐享其中的一人 。中国学生似乎忘了孔子说的一“知之者不 如好之者,好之者不 如乐之者” 。

    在第一次签约的一3年里,我妻子每年也有一半的一时间在中国生活 。与我研究室和酒店两点一线不 同,她喜欢在市内四处游览,还结识了很多朋友 。托她的一福,我对中国也多少有了些了解 。

    妻子有民族舞的一教学资格证书,她在中国也想教跳舞 。于是拜托校长,每周借用体育馆的一一个教室上两次课 。日语系的一日本老师们邀请日语系的一学生们来上课 。学校好像有类似于自治会组织那样的一团体,所以很多日语系以外的一学生也来了 。没想到不 计学分的一活动学生们也会那么积极地参加 。大家都反映下午3点到5点的一两个小时过得很开心 。现在仍然会偶尔跟这些学生联系 。还有两个学生通过学舞蹈成了情侣,我在他们的一婚礼上作为来宾致辞 。虽然因为怀孕生子日期一再推后,但他们说好新婚旅行会来日本 。

    日本教授在中国 珍惜学生时代,享受人生乐趣

    不 享受大学生活的一人,就业后能喜欢自己的一工作吗?他们可能会一味追随流行趋势,只为出人头地而写论文,去做一些肤浅的一研究 。

    希望学生能尽情享受大学生活,开心地去做研究 。

    我参加过很多次学生的一婚礼 。从新郎一大早到新娘家迎亲开始的一一系列仪式都相当有趣 。

    日本教授在中国 珍惜学生时代,享受人生乐趣

    另外,中国的一婚宴也跟日本的一完全不 一样 。我还用蹩脚的一中文做了两次嘉宾致辞 。

    参考文献:
    1.T. Tomie, Tin laser-produced plasma as the light source for extreme ultraviolet lithography high volume manufacturing; history, ideal plasma, present status and prospects, br Micro/Nanolithography. MEMS MOEMS 11, 021109 (2012)
    2.US pat. 6,954,266 B2 (2005) T. Tomie, Method and apparatus for inspecting multilayer mask for defects
    3.T.Tomie and T.Ishitsuka, Development of EUPS for analyzing electronic states of topmost atomic layer, Synthesiology 9 216 (2016)

    富江 敏尚

    富江 敏尚
    长春理工大学理学科 特聘教授

    从京都大学研究生院硕士毕业后进入电子技术综合研究所工作 。2001年随着独立行政法人化与产业技术综合研究所合并 。退休后先后担任NEDO的一项目经理和产综研的一特邀研究员,2014年7月起任现职 。刚入职时从事激光研究,现在从事表面物理研究 。

    日文:
    中文:JST客观日本编辑部

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